装置制御および自動インタフェース
ウインズは創業時より半導体産業に携わっており、さまざまな分野に及ぶ装置制御での専門知識を集約させる場を確立してきました。
ウインズのフレームワークは需要に応じたカスタム化が可能で、費用削減にも貢献します。
画面フレームワーク
• SEMI E95対応
• マルチ言語サポート
• マルチテーマサポート
装置制御フレームワーク
• IO制御
• デバイス制御:ロボット、EFEM、ガス、温度、バルブ等
• レシピ管理
• アラーム管理(+履歴)
• イベント管理
• データロッガ
• ジョブ管理 (SEMI E42, E94)
• GEM 300mm対応デザイン
• オブジェクト指向
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