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ウインズの同装置は、半導体分野におけるホストと装置間のさまざまなシナリオをシミュレーションすることができるソフトウェアシミュレータです。
SEMIではSECS-IIと呼ばれるホストと装置間の通信に使われる明確な通信基準を設定しています。
シミュレータの特徴
- メッセージ用にSMLとXMLの両方のフォーマットをサポートします。 ひとつのデータフォーマットを他のフォーマットに変換することができます。
- 複雑なSECSアプリケーションの段階を経ずに、通信メッセージを容易に開発することができます。
- 異なるデバイスに対し、SECS-IとHSMS通信の両方を同じアプリケーションでサポートします。
- ソースコードを変更せずに、通信パラメータ、メッセージ定義、データ定義を修正し、通信プロトコル間で切り替えることができます。
- メッセージをドラッグ＆ドロップしてシナリオを作成し、そのシナリオを実行してウェハファブ内の装置およびホストの作動状態のトラブルシュートを行います。
- 複数のデバイスからの複数のシナリオを同時に実行します。
- Tree、SML、XML、バイナリフォーマットでメッセージトラフィックおよび通信の詳細を見ることができます。
- インタラクティブGUIを使って、ユーザ自身がメッセージおよびデータを定義することができます。
- メッセージライブラリへの変更は加えずに、フライ上でメッセージを修正し、送信することができます。
- ボタンクリックするだけで、XMLとSMLの両方のフォーマットでメッセージライブラリにカスタムメッセージが追加されます。
ロッガの特徴
- SMLおよびローレベルのSECSメッセージ用にログファイルを組み込みます。
- コンフィギュレーション可能なSeverityレベルを伴ったメッセージレベルのデバッグロギングで、問題箇所や機能の不備事項を確認することができます。
- 既存の通信チャネルを聞いてローレベルのメッセージを確認し、それらのメッセージを使って装置シナリオを再度作成します。
- フラットファイル、UDPポート、デバッグ文字列に、通信詳細およびシナリオメッセージをログすることができます。
- ビルドイン式ロギングコールバックの機能を使って、性能に支障を来たすことなく、ロギング情報を確実にキューイングさせることができます。
- ロギングシステムの分離アーキテクチャにより、どのロギングシステムに対してもロギング情報を提供することができます。
シミュレータの利点
- シミュレータを使うことで、SECS-IIプロトコルを使った工場内装置との通信ができます。
- 製造装置の土台として使用したり、リアルタイムでの分析用にデータベースにデータを集めることもできます。
- 開発およびメンテナンスの時間を削減できます。
- データ消去内容からプロトコルを作成する必要がありません。ライブラリを追加し、手持ちのコードで即時に使い始めるだけです。
- ファブ内の装置のインテグレーション操作および設定の回数を減らします。
- 通信の詳細がわからない場合でも、アプリケーションを容易にコンフィギュレーションすることができます。
- さまざまなPCの通信ソフトを分配することができます。
- 既存のファシリティと比べ、高い費用効果が得られます。
- SECSインタフェースを使ってさまざまなデバイスのシミュレーションをすることができます。
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